Tarkkuusosa on työkappale tai osa, jonka tarkkuusasteikon on oltava hieno mikroniin asti tai jopa pienempi. Yleisesti ottaen korkean tarkkuuden osien on noudatettava korkeita standardeja ja tiukkoja prosesseja valmistuksessa, sekä materiaalista että prosessointiteknologiasta vaativat erittäin huolellista taitoa.
